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    1. 產品詳情
      • 產品名稱:單靶等離子濺射儀(基礎版)

      • 產品型號:TN-PSP180G-1TA
      • 產品廠商:泰諾
      • 產品文檔:
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      簡單介紹:
      單靶等離子濺射儀(基礎型)采用二極濺射方式,廣泛用于場發射掃描電鏡或透射電鏡樣品制備或高質量鍍膜試驗。該單靶等離子濺射儀(基礎型)是基于PLC的強大控制系統,全部觸摸屏操作,可手動、半自動控制、全自動控制。
      詳情介紹:

      ○ 產品介紹:

      TN-PSP180G-1TA 本型號小型等離子濺射儀,采用二級濺射方式,廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗。采用低溫等離子體濺射工藝,鍍膜過程中無高溫,不易產生熱損傷。該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統,全部觸摸屏操作,體積小巧造型美觀,是實驗室鍍膜試驗的*佳選擇。

      主要功能:

      1、精細、超精細離子濺射導電膜制備;專業級金屬膜層試驗。

      2、樣品等離子刻蝕清洗

      主要參數:

      樣品臺 尺寸 100mm

      到靶面距離 20-35mm 可調
      等離子濺射靶 數量 2英寸*1

      冷卻方式 自然冷卻
      真空腔體 腔體尺寸 φ180*210mm

      觀察窗口 全向可視

      腔體材料 高純石英

      開啟方式 頂蓋拆卸式

      上下蓋材料 304不銹鋼

      抽氣接口 KF16

      進氣接口 1/4英寸卡套接頭
      電源配置 數量 直流電源*1

      輸出功率 *大150W

      濺射電壓 1200V

      *大濺射電流 50mA
      真空系統 真空泵類型 雙極旋片真空泵

      抽氣接口 KF16

      抽氣速率 1.1L/s(4m3/h)

      極限真空度 ≥0.1Pa

      真空測量 電阻真空規
      其他 供電電源 AC220V 50Hz

      整機功率 1.5kW

      整機尺寸 500mm*320*470mm

      整機重量 30kg

      ○ 免責聲明 

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